離子去膠機 型號：PR-3

通過等離子體方法，對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進行干法去除。設備為單室真空系統(tǒng)，主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報警系統(tǒng)等部分組成。  
離子去膠機 射頻電源采用RF500W電源控制。  
氣路系統(tǒng)采用兩臺浮子流量計控制氣體進氣。
 腔室結(jié)構(gòu)：臥式、純石英
 真空室規(guī)格：F210′300mm
 限真空：1Pa（環(huán)境濕度≤55%）
 真空系統(tǒng):機械泵
 大裝片直徑: F4英寸
  大裝片容量：4英寸 25片/爐
 去膠速率: ～500A/min
 去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內(nèi))
 操作方式:手動方式
用戶可選配全自動控制方式

產(chǎn)品名稱：標準型勻膠機 臺式勻膠機 產(chǎn)品型號：SC-1B

標準型勻膠機  臺式勻膠機 型號：SC-1B

SC-1B標準型勻膠機主要適用于半導體硅片、晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃等工藝制版及表面涂覆，各種光刻膠表面膜制備。  
   采用變頻技術控制旋涂速度與時間，有效控制膠的厚度、均一性。可應用于各研究領域前期研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)。
主 要 技 術 指 標1. 控制顯示：LED數(shù)字控制器，用戶可通過控制器進行參數(shù)修改設置
2. 勻膠模式：可同時輸入七組數(shù)值，即轉(zhuǎn)速及勻膠時間可任意設置為Ⅰ檔、Ⅱ擋、……Ⅶ檔，轉(zhuǎn)速啟動后先低速運轉(zhuǎn)（Ⅰ檔），然后自動執(zhí)行Ⅱ檔、……Ⅶ檔，直至達到高速運轉(zhuǎn)。
3．勻膠時間：1～9999s任意時間可設置
4．勻膠速度：0～8000rmp可調(diào)
5．旋轉(zhuǎn)加速度：0～8000rpm/sec 由低速到高速加速時間0.1s～0.5s
6．轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1rmp
7．涂膠均勻性：±3%
8．可鍍膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6〞）
9．基片厚度：  ≤5mm
配 置 參 數(shù)1．設備配置Ф200mm接膠裝置
2．電機功率：90W，額定轉(zhuǎn)速8000rmp
3．真空泵：FY-1C旋片式真空泵，抽速60L/min(用戶可選配無油型真空泵)
4．樣片托：標配1英寸一個，2英寸一個，其它規(guī)格按要求定制
5．輸入電源： AC220V/240V  50HZ
6．整機功率：100W
7．機身尺寸： 280×360×240mm
8．機身重量：10Kg

過濾效率測試儀型號：GB32610
一、主要用途：  
過濾效率測試裝置用于日常防護型和呼吸器對顆粒物的防護效果及過濾效率的測試。用于日常防護型、醫(yī)用、呼吸器對顆粒物過濾效率的測試。適用于醫(yī)療器械檢驗中心、安全防護檢驗中心、勞動防護檢驗中心、藥品檢驗中心、疾病預防控制中心、紡織品檢測中心、醫(yī)院、和呼吸器生產(chǎn)企業(yè)等。  

二、應用范圍：  
  適用于醫(yī)療器械檢驗中心、 安全防護檢驗中心、 勞動防護檢驗中心、 藥品檢驗中心、疾病預防控制中心、醫(yī)院、和呼吸器生產(chǎn)企業(yè)等。  

三、適用標準：  

GB 32610-2016 日常防護型技術規(guī)范  

GB 2626-2006 呼吸防護用品-自吸過濾式防顆粒物呼吸器  

GB 19082-2009 醫(yī)用一次性技術要求  

GB 19083-2010 醫(yī)用防護技術要求  

YY 0469-2011 醫(yī)用外科  

四、技術參數(shù)：  

1、 采用冷發(fā)生氣溶膠發(fā)生器產(chǎn)生出連續(xù)穩(wěn)定的氣溶膠粒子，加注溶液方便。  

2、 采用高精度激光傳感器對氣溶膠濃度進行測量。  

3、 全程顆粒物防泄漏設計，保護實驗人員安全。  

4、 氣溶膠發(fā)生器 2 套：鹽性顆粒物氣溶膠發(fā)生器和油性顆粒物氣溶膠發(fā)生器。  

5、 配有氣溶膠顆粒物靜電荷中和裝置。  

6、 氣動夾具并配有保護裝置，使用安全方便。  

7、 配置溫濕度傳感器，實時顯示環(huán)境溫濕度  

（溫濕度要求：25℃±5℃，30%RH±10%RH）。  

8、 配置精密流量計、真空泵、激光塵埃粒子計數(shù)器。  

9、 過濾效率檢測范圍：0-99.999%。  

10、過濾效率檢測流量計范圍（10-100）L/min，精度 2.5 級。  

11、過濾效率采樣頻率：1-9999 次/min 可任意設置。  

13、儀器準確度等級（精度等級）：1 級  

14、控制系統(tǒng)：友好的人機界面控制試驗過程，自動采集數(shù)據(jù)。  

15、系統(tǒng)自動測試氣體濃度，自動計算過濾效率；可保存、輸出、查詢、打印測試數(shù)據(jù)。  
16、電源： AC220V 50Hz  

五、系統(tǒng)功能  
1、效率檢測  

2、阻力檢測  

3、密合度檢測